Constituye el máximo reto para las mediciones táctiles u ópticas. En este terreno las dimensiones son extremadamente pequeĄas, las fuerzas actúan de distinta forma, se aplican diferentes principios. La tecnología de microsistemas, con sus intrincados componentes, requiere la más avanzada tecnología y los más vanguardistas instrumentos de Metrología. No en vano los micromotores, microinterruptores y los componentes miniaturizados cada vez conquistan más ámbitos de la vida diaria; su fiabilidad depende de su calidad, que a su vez queda definida por la medición.

Con el fin de que sus clientes puedan afrontar con el mayor éxito las necesidades de precisión descritas, Carl Zeiss presenta su avanzada máquina de medición por coordenadas 3D denominada F25, especialmente desarrollada para medir componentes de microsistemas con la máxima fiabilidad.

En lo que se refiere a sus campos de aplicación, la sofisticada máquina F25 resulta óptima para le medición de:

a) Piezas simétricas de rotación con superficies complejas, radios pequeĄos, dentados.
b) Piezas prismáticas con taladros pequeĄos y profundos.
c) Piezas planas de metal con poca estabilidad de forma.
d) Piezas 2D con taladros y recortes.

La F25 se desliza sobre cojinetes neumáticos, con un volumen de medición de un decímetro cúbico. La cinemática ultraprecisa, en combinación con un sistema de medición altamente exacto, permite alcanzar una incertidumbre de medición de 250 nanómetros con una resolución de 7,5 nanómetros. Esta resolución y el comportamiento de regulación optimizado de los accionamientos lineales permiten la medición táctil con mínimas fuerzas de palpado, incluso en taladros con diámetro inferior a un milímetro.

Sensor táctil de scanning

Su palpador táctil de medición pasiva fue desarrollado basándose en una membrana de chip de silicio de 6,5 x 6,5 mm. y elementos piezorresistentes integrados. Este palpador permite tanto la medición punto a punto como en el modo de scanning. El micropalpador 3D está diseĄado para un diámetro de palpador de 50 a 500 micrómetros y un diámetro de la esfera del palpador de 100 a 700 micrómetros. Con una longitud libre del vástago de hasta 4 mm. es posible medir en pequeĄas estructuras profundas con fuerzas de palpado de menos de 0,5 mN/Šm.

Sensor óptico

El sensor por cámara ViScan ?procedente de la línea estándar de Zeiss- se emplea como sensor óptico en combinación con un objetivo derivado del campo de la Microscopía de Zeiss para mediciones 2D. Esta óptica, optimizada en cuanto a las aberraciones y la profundidad de campo, garantiza resultados precisos gracias a la máxima resolución en luz transmitida y reflejada.

Potente software Calypso

Para la evaluación de los datos captados, la máquina de medición por coordenadas F25 tiene a su disposición el potente y ampliamente acreditado software Calypso, desarrollado por Zeiss, que posee una inteligente interfaz de usuario.

Sistema Multisensor

La combinación de un sensor táctil y otro óptico garantiza la medición de estructuras bi y tridimensionales en el mismo sistema de coordenadas. Una cámara adicional apoya la visualización durante el palpado de las caracterí